Japan

生産技術センター

研究・開発

環境調和型生産技術

概要

東芝グループの「環境ビジョン2050」実現に向け、東芝グループの生産技術研究開発拠点として、環境調和型生産技術を創造し、提供することを推進しています。「Green of Process(モノづくりの環境配慮)」「Green of Product (製品の環境配慮)」「Green by Technology(エネルギー・環境技術)」の3つの側面と、環境経営の基盤活動を推進する「Green Management」をコンセプトに取組みを進め、地球温暖化の防止、資源の有効活用、化学物質の管理という3つの視点から、製品と事業活動において環境に配慮した「モノづくりの技術としくみ」を発信しています。

(1) 環境調和型研究テーマ
東芝グループの幅広い製品に対応し、基礎から応用まで、多様なフェーズの研究テーマに取り組む中、環境へのインパクトが大きいテーマを顕在化させて推進しています。
(2) 環境調和型設備開発
東芝グループ向けに提供する生産設備を、生産技術センターの「製品」と位置づけ、環境調和型設備開発を進めています。環境法規制に対応し、グリーン調達や含有化学物質管理を行い、製品アセスメントを実施しています。

[イメージ] 環境調和型生産技術の概念図

取組み事例

高生産性ウエットエッチング装置開発による省エネ効果

環境配慮事項:地球温暖化防止

概要
  • 半導体デバイス製造の精密なエッチング工程における電力使用量の削減
ポイント
  • 薬液の高温化と吐出ノズルの改良により、高エッチング速度と高い面内均一性を実現
  • 4チャンバー×3階層化によるウエハ搬送距離の短縮で高い生産性を実現
効果
  • プロセス処理時間を半減
  • ロットあたりの電力使用量を62%削減
  • 芝浦メカトロニクス(株)で製作され、東芝四日市工場で稼動を開始
連携部門
芝浦メカトロニクス(株)
[イメージ] 高生産性で省エネを実現した枚葉式ウエットエッチング装置

高生産性で省エネを実現した枚葉式ウエットエッチング装置


家電製品向けモータ駆動用ベクトル制御マイコン

環境配慮事項:地球温暖化防止

概要
  • 家電製品用モータの省エネに有効な正弦波駆動設計を短期間で実現できるマイコン
ポイント
  • 正弦波駆動の実現手段であるベクトル制御をハードウェア化、専門家でなくても設計可能
  • ユーザ特有の処理はソフトウェアにて実現可能
効果
【価値改善】
  • 設計期間を1/3に削減可能
  • 製品適用時の開発コストが低減、新興国向け製品への展開が容易
【環境改善】
  • モータ効率を約2%改善
  • 低振動/低騒音:3db低減
連携部門
東芝マイクロエレクトロニクス(株) ミックスシグナルコントローラ応用技術部
[イメージ] 家電製品向けモータ駆動用ベクトル制御マイコン

完全鉛フリーLSIパッケージ

環境配慮事項:化学物質管理

概要
  • LSIパッケージの内部接続用高温はんだの鉛フリー化
施策
  • 応力緩和性に優れたスズ銅合金(Sn-0.7Cu)はんだバンプの採用による接続信頼性確保
  • スズと銅のプロセス中での合金化による希薄な銅組成の高精度制御
効果
  • RoHS指令(適用除外項目)に先行する環境調和型製品の提供
  • 適用品は2010年度で生産累計1000万個超え
  • パッケージ全体の完全鉛フリー化による有害物質の削減
連携部門
(株)東芝 セミコンダクター&ストレージ社 半導体プロセス開発部門
[イメージ] 完全鉛フリーLSIパッケージ

洗濯乾燥機用 可変磁力モータ

環境配慮事項:地球温暖化の防止

目的
  • 高回転数・高トルク出力の両立による洗濯・乾燥の省エネ
施策
  • 磁石の磁力を変えることで、モータに複数の出力特性を持たせ、工程にあった省エネ運転を実現
効果
  • 業界省エネNo1(注1)に寄与(消費電力量を22%低減:760Wh)
  • 平成22年度 電機工業会技術功績者表彰優秀賞を受賞(注2)
  • (注1) 6kg洗濯・乾燥条件、日本国内2009年9月において
  • (注2) 搭載洗濯乾燥機にて東芝ホームアプライアンス株式会社と共同受賞
[イメージ] 洗濯乾燥機用 可変磁力モータ

新型可視光反応型光触媒(注1)の膜形成技術

環境配慮事項:化学物質の管理、地球温暖化の防止

目的
  • 室内照明光のエネルギーでウィルス不活性化や臭い成分分解などの環境浄化を行う光触媒の応用範囲を拡大
施策
  • 光触媒ナノ粒子表面での反応を阻害しないように粒子表面を露出させながら膜はがれを生じさせない固定化プロセスの開発
効果
  • 新型光触媒の性能を生かした膜形成が可能
  • 室内光のエネルギーのみで環境浄化作用(抗菌/抗ウィルスやVOC(注2)ガス分解(注3)など)を実現
  • (注1) 東芝マテリアル(株)製「ルネキャット®」
  • (注2) VOC(Volatile Organic Compounds、揮発性有機化合物)は、常温常圧で揮発する有機化学物質の総称で、シックハウスや化学物質過敏症の原因となる
  • (注3) 新型粒子のガス分解性能は、一般家庭の居間での団欒に適した明るさである200ルクス以下の低照度で、従来型の30倍
[イメージ] 新型可視光反応型光触媒の膜形成技術

環境調和型設備の開発:オリフィス加工装置

環境配慮事項:地球温暖化の防止、資源の有効活用、化学物質の管理

目的
  • インクジェットプリンタヘッドのオリフィス孔をレーザで加工する装置を、従来機種よりもさらに環境に配慮した設計により開発する
ポイント
  • 部品選定におけるグリーン品(注1)の採用、および省資源、省エネに配慮した設計とする
  • (注1) グリーン品:有害化学物質を含まないよう配慮された部品(鉛フリー、RoHS指令6物資フリー、東芝全廃特定15物質フリーな部品)
効果
  • グリーン品採用率 従来9% → 今回63%
  • 省資源:機能当り重量改善 51%
  • 省エネ:機能当り電力改善 27%
この装置で加工したプリンタヘッドは、2月から出荷され、業務用プリンタに搭載されている
[イメージ] オリフィス加工装置

新型二次電池SCiB™

環境配慮事項:地球温暖化の防止、化学物質の管理、資源の有効活用

目的
  • エネルギーの有効活用、廃棄物及びCO2の削減に貢献する新型二次電池SCiB™を提供する
施策
  • 新材料の採用などにより、卓越した安全性と共に長寿命、急速充電、高出力、低温特性を達成
効果
【価値改善】
  • 電動バイクなど様々な用途へ展開が可能
【環境改善】
  • 化石燃料代替を目指した移動手段の実現
共同
株式会社 東芝 電力流通・産業システム社 SCiB事業推進統括部
[イメージ] 新型二次電池SCiB

薬液を大幅に削減できるレジスト除去技術

環境配慮事項:環境関連物質削減、省資源、再資源化

目的
  • 半導体製造工程で、過酸化水素水や硫酸の使用量、および排出量を削減
施策
  • 硫酸の電気分解により酸化性の化学種を生成することで、過酸化水素使用時と同等以上のレジスト除去特性を実現
  • ボロンを添加したダイヤモンドの電極、テフロン製電解槽で不純物を低減減
効果
  • 従来のSPM(硫酸/過酸化水素水)処理と比べ、
    過酸化水素水:全廃
    硫酸:使用量70%削減(リワーク工程で試算)
[イメージ] 電解硫酸の原理とリユース可能な電解硫酸

洗濯乾燥機「エアコンサイクルドラム TW-2500VC」

環境配慮事項:地球温暖化防止、環境関連物質削減、資源有効活用

目的
  • ランドリー機器のライフサイクルで大半を占める使用段階での環境負荷の低減
施策
  • エアコンサイクルエンジン搭載による、全く水を使わない新しい乾燥技術とヒートポンプ加熱を利用した温水洗浄
  • S-DDエンジン+3 による高速脱水(1500rpm)
  • 環境有害物質の削減
  • 冷風エアコン搭載による除湿冷房機能
効果
  • 洗濯乾燥時の消費電力量を約半減化
  • ヒータ温水洗浄に対し約10%消費電力低減
  • ランニングコスト(電力・水・洗剤)を約4割減
  • 特定有害物質使用制限のRoHS指令と、 特定化学物質含有表示のJ-Mossに対応
  • 快適空間の提供(室温30→25℃/15分)
共同
東芝家電製造(株)、東芝コンシューママーケティング(株)
[イメージ] 洗濯乾燥機「エアコンサイクルドラム TW-2500VC」
[イメージ] 洗濯乾燥機「エアコンサイクルドラム TW-2500VC」
生産技術センター
〒235-0017 横浜市磯子区新磯子町33
TEL:045-759-1300

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